低温等离子废气处理：
一、操作顺序及注意事项一，开机顺序：
1、启动电源前，先检查等离子设备及相关配套设备是否安装可靠，封闭。防爆装置是否灵活
2、合上总开关检查电源，观察各电源指示灯是否正常
3、启动风机，检查风机旋转方向是否正常
4、启动喷淋水泵，检查喷淋设备喷水是否正常
5、有排风扇的开启排风扇。（如有旁路，启动等离子前先打开等离子阀门，在关闭旁路阀门；关闭等离子时，应先开旁路阀门再关闭等离子阀门）
6、设备运行1分钟后打开等离子电源按钮，按顺序间隔3-5秒依次打开，打开同时依次检查数字电流表的电流是否正常。
二、关机顺序：
1、关闭等离子按顺序依次关闭
2、关闭喷淋
3、关闭风机
注意事项：
1.运行设备过程中，切勿打开电器柜及设备密封门。
2.根据工作环境情况，定期对设备进行维护、清洁。
二、设备日常维护及保养：
1、配有水塔的废气治理系统，应最少一个星期换一次水，换水时应先将塔内存水通过排水口排放干净，加入1/3正常水量的循环水后，开启循环水泵运行十分钟后，再次排放干净，重新加水至正常水位。（根据所治理的废气不同，有的水塔需要加片碱的，应适当加入片碱）
2、每个月应将等离子设备第一级电极组件抽出来全面清洗一次，视污垢附着程度，如果不太脏时可用高压水枪加家用洗洁精喷洗或者用热水加入家用洗洁精泡洗。如果积垢比较严重，则可用重度1:25的烧碱与热水混合溶液泡洗较快较彻底。
清洗结束后应将电极架晾干进行中心校正后可装机使用。校正方法：将电极架如正常使用时放置，从电极架进气方向目测，每个电极单元的中心发射管是否在接受管（外筒）中心，若目测偏移，可用直径10mm钢棒插入发射极进行调整，调整时切记不可用力过大过猛，应逐渐加大调整力度。
3、每三个月至半年（最长年限是半年）视情况将等离子设备所有电极抽出全面清洗一次，清洗方法参照第2条。
4、设备不运行时，应将系统进气口蝶阀关闭，需要运行设备时再将之打开。系统配置有可燃性气体检测探头的，在设备整体运行时间累计达到500h时，应将系统进口处的可燃性气体检测探头下拆下，拧下探头底部保护帽，将保护帽内的滤芯用干燥压缩空气反向吹拭干净后，将之与探头组装好再安装回原来位置。
